窗口片側邊平行度檢測裝置
- 發布時間：2021-11-29
窗口片側邊平行度檢測裝置
【概要描述】窗口片平行度是指兩個平面或兩條直線之間的平行程度，以及一個平面(邊)與另一個平面(邊)之間平行度的最大允許誤差。平行度評估直線之間、平面之間或直線與平面之間的平行度。直線或平面中的一個是評價標準，而直線可以是被測樣品的直線部分或直線運動軌跡，平面可以是被測樣品的平坦部分或運動軌跡形成的平面。現有的硅窗口片制作完成后需要測量側面的平行度，但是現有的測量裝置大多是人工測量，硅窗口片的四個側面都需要測量
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窗口片平行度是指兩個平面或兩條直線之間的平行程度，以及一個平面(邊)與另一個平面(邊)之間平行度的最大允許誤差。平行度評估直線之間、平面之間或直線與平面之間的平行度。直線或平面中的一個是評價標準，而直線可以是被測樣品的直線部分或直線運動軌跡，平面可以是被測樣品的平坦部分或運動軌跡形成的平面。現有的硅窗口片制作完成后需要測量側面的平行度，但是現有的測量裝置大多是人工測量，硅窗口片的四個側面都需要測量，這無疑大大增加了人工的消耗，使得成本較高。
為了克服現有技術不足，技術人員提出了一種更節省人力的新型檢測硅窗口片側邊平行度的裝置，它通過以下技術方案實現：一種硅窗口片側邊平行度檢測裝置，包括底座平臺和基準滑軌，底座平臺頂部一側設有軌道槽，軌道槽頂部設有移動機構組件；移動機構組件的一個側壁的中間位置設有電動推桿；氣缸抓手固定在移動機構組件的另一側壁上；氣缸夾爪的一端連接有硅窗片；基準滑軌設置在硅窗片的底部。設備箱通過螺釘固定在底座平臺頂部靠近基準面滑軌的一側，設備箱上設有電源連接組件，操作平臺固定在設備箱頂部，操作平臺通過導線與電氣結構的各個部分連接。設備箱頂部固定有電磁抓取機構，電磁抓取機構為電磁鐵結構；磁性端活動連接在電磁抓取機構的正下方；磁性端的一端設有滑動表架；滑動儀表架上固定有千分表。
其中，所述底座平臺上設有兩組軌道槽，移動機構組件底部焊接有滑柱，電動推桿通過滑柱在軌道槽內的滑動推拉移動機構組件，氣缸抓手的一端與移動機構組件內部的旋轉電機轉動連接。氣缸抓手緊貼在硅窗片的一個側壁上，硅窗片可在基準面滑軌內滑動，電動推桿、旋轉電機和電磁抓手機構均通過導線與設備箱連接。操作平臺連接電動推桿、旋轉電機和電磁抓取機構。滑動表架通過滑槽與設備箱滑動連接，磁性端嵌入滑動表架內，百分表通過卡槽與滑動表架連接。
與現有技術相比，該硅窗口片側邊平行度檢測裝置的有益效果是：由于優化了構造，在基面上設置有移動機構組件、磁性抓取機構和滑軌等，實現了在硅窗片的四面機械測量平行度數據的目的，不但減少了人工操作量，節省了人力，更有效提高了工作效率。
